Karena sifat yang sangat baik dari komponen keramik seperti ketahanan suhu tinggi dan ketahanan korosi, komponen ini sering digunakan dalam berbagai peralatan kunci semikonduktor. Bagian keramik semikonduktor meliputi lengan keramik semikonduktor, substrat keramik, nozel keramik, jendela keramik, penutup rongga keramik, cangkir vakum keramik berpori, dll.
1. Lengan keramik semikonduktor
Dalam proses kerja peralatan semikonduktor, diperlukan lengan keramik pada saat menangani wafer, karena wafer silikon tidak dapat terkontaminasi, sehingga umumnya dilakukan di lingkungan udara yang benar-benar bersih. Dalam lingkungan vakum, sebagian besar lengan mekanis yang dibuat dari bahan lain tidak dapat memenuhi persyaratan, sehingga perlu menggunakan lengan keramik dengan ketahanan suhu tinggi, ketahanan aus, dan kekerasan tinggi. Biasanya orang menggunakan alumina dengan kemurnian tinggi, silikon karbida untuk menyiapkan lengan keramik, kedua bahan baku ini memiliki kekerasan tinggi, ketahanan aus dan tahan suhu tinggi serta sifat fisik lainnya, merupakan persiapan bahan lengan keramik yang sangat baik. Dibandingkan dengan kedua bahan tersebut, kinerja lengan keramik yang terbuat dari silikon karbida lebih baik dibandingkan dengan lengan keramik alumina. Namun dibandingkan dari segi harga bahan dan kesulitan pengolahannya, lengan keramik yang terbuat dari alumina lebih hemat biaya, dan lengan keramik alumina biasanya lebih banyak digunakan.
2. Substrat keramik
Substrat keramik terutama digunakan di berbagai bidang pengemasan elektronik, seperti pengemasan perangkat elektronik daya, pengemasan laser, pengemasan dioda pemancar cahaya, paket pendingin termoelektrik, pengemasan perangkat elektronik suhu tinggi, pengemasan perangkat daya lainnya. Karena bahan umum tidak tahan suhu tinggi, dalam keadaan normal, proses pengemasan elektronik menggunakan konduktivitas termal dan ketahanan panas, kekuatan tinggi, keandalan produk keramik yang tinggi. Orang sering menggunakan alumina, silikon nitrida, dan bahan lain untuk membuat substrat keramik.
3 nosel keramik
Pada HDP-CVD, gas reaksi masuk ke ruang reaksi melalui nosel keramik yang menghubungkan bagian dalam dan luar ruang, sehingga kualitas nosel secara langsung menentukan kemurnian dan laju aliran gas reaksi. Aluminium oksida dan aluminium nitrida biasanya digunakan untuk membuat nozel keramik. Karena keramik aluminium nitrida memiliki konduktivitas termal dan ketahanan guncangan termal yang lebih baik daripada aluminium oksida, nozel tidak akan menyebabkan polusi pengotor karena korosi plasma, juga tidak akan menyebabkan polusi pengotor karena deformasi termal yang disebabkan oleh keausan komponen perakitan. Hal ini memastikan bahwa nozel tidak menimbulkan risiko kontaminasi pengotor pada gas reaksi dan ruang reaksi, dan dapat lebih memenuhi persyaratan aplikasi dalam peralatan HDP-CVD proses lanjutan.
4. Jendela Keramik
Jendela keramik adalah komponen kunci yang banyak digunakan dalam mesin etsa semikonduktor. Sebagai penutup ruang pada mesin etsa, digunakan pada mesin etsa plasma. Itu terletak di antara ruang mesin etsa dan koil kopling plasma. Ini dirancang untuk mengirimkan energi RF (frekuensi radio) dan gelombang mikro ke dalam ruang etsa plasma sambil menahan erosi dari lingkungan etsa plasma yang keras. Jendela keramik yang efektif memiliki nilai tangen sudut hilang yang rendah (transmisi tinggi) pada frekuensi RF dan gelombang mikro. Jika tidak, energi dapat diserap dan diubah menjadi terlalu banyak panas, sehingga menurunkan proses (kehilangan energi RF) dan komponen (terlalu banyak panas dan gradien termal). Dalam persiapan produk ini, dua bahan keramik canggih dari alumina dengan kemurnian tinggi dan yttrium oksida biasanya digunakan, dan produk yang memenuhi persyaratan aplikasi dapat diselesaikan melalui proses pencetakan, sintering dan finishing yang ketat serta proses penyemprotan permukaan.
5. Penutup rongga keramik
Penutup rongga keramik merupakan komponen fungsional independen yang terintegrasi termasuk kubah keramik, sistem pendingin, dan sistem kontrol elektroda. Ini adalah salah satu komponen kunci dalam peralatan pengendapan film tipis berukuran 40nm ke bawah, dan kinerjanya sangat penting untuk memastikan kualitas wafer. Penutup rongga keramik ditutupi di bagian atas wafer, dan rongga perangkat CVD disegel untuk membentuk lingkungan ruang tertutup. Anggota antena dengan kumparan di sekitar penutup bel dapat menerapkan daya frekuensi tinggi untuk membentuk medan listrik terinduksi untuk menghasilkan ICP (plasma), dan memasukkannya ke dalam ruangan melalui penutup rongga keramik untuk melakukan perlakuan ion yang sama dan melindungi kelancaran kemajuan. dari film deposisi. Penutup ruang keramik memainkan peran penting dalam penyegelan, perbedaan tekanan internal dan eksternal, serta kebersihan ruang reaksi, dan merupakan salah satu komponen inti paling penting dari peralatan CVD.
6. Pengisap vakum keramik
Sebagian besar komponen keramik yang biasa digunakan pada perangkat semikonduktor adalah keramik padat, namun penghisap vakum merupakan keramik berpori. Bahan semikonduktor Wafer silikon adalah bahan yang tipis, keras dan rapuh, kedua sisinya perlu digiling dan dipoles, dll. Orang biasanya menggunakan mangkuk penghisap vakum untuk mencari dan menjepit benda kerja semacam ini. Kinerja pengisap vakum yang dibuat dari bahan tradisional seringkali gagal memenuhi persyaratan penggunaan. Setelah kemajuan ilmu pengetahuan dan teknologi, masyarakat lazim menggunakan bahan keramik untuk membuat alat pengisap vakum. Pengisap vakum yang umum digunakan memiliki struktur berpori, yang terbuat dari dua bahan keramik yang diikat menjadi satu. Pelat keramik berpori dipasang pada lubang countersunk pada alasnya, yang diikat dan disegel dengan alasnya, yang dikerjakan dari bahan keramik padat yang tidak dapat bernapas. Meskipun bahan dari kedua bagian tersebut berbeda, namun ketahanan aus dan sifat mekaniknya serupa. Hal ini membuat pengisap vakum memenuhi persyaratan penggunaan.
Ada banyak produk keramik untuk semikonduktor, kami dapat menyediakan produk sesuai kebutuhan Anda, selamat datang konsultasi Anda.
